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ppb級微水發(fā)生器濕度穩(wěn)定高精度高溫耐壓管路及接頭，超低泄露率。系統(tǒng)整體耐壓超2Mpa，出口壓力波動小，小于±10pa，配置防爆型發(fā)生模塊。

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大流量濕度發(fā)生器穩(wěn)定可控濕度精度+/-1.5%，氣體流量10L-500L，溫度-10℃-90℃， 溫度覆蓋廣，溫度精度+/-0.1℃，露點范圍-60℃-60℃，進口露點傳感器，相對濕度0-95%可選，自帶管路伴熱功能。

便攜式濕度發(fā)生器全自動利用高精度恒流泵定量供給液體水，通過控制液態(tài)水相變，氣態(tài)水蒸氣與干路載氣混合形成恒定濃度的濕氣,再通過恒定溫度控制形成不同溫度下的相對或絕對濕氣。